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        自動匹配器

        KVMEN?  AM系列數字式自動匹配器,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,利用我們成熟的專業技術力量,AM自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

        優勢

        功能

        ● 提高生產力、增加產量、降低生產成本
        ● 長期穩定的制程時間保證
        ● 易于安裝和操作
        ● 快速、精確和可重復的阻抗匹配
        ● 最佳的、可直接應用的功能,滿足多種應用領域需求
        ● 多功率和頻率范圍

        性能參數

        AM-1310

        AM-1315

        AM-1320

        頻率

        13.56MHz ±0.005%  27.12MHz\40.68MHz

        最大傳輸功率

        1000w

        1500W

        2000W

        反射功率(最大功率時)

        <3w

        <3w

        <5w

        最大負荷電流

        30ARMS

        30ARMS

        30ARMS

        最大負荷電壓

        7500VRMS

        7500VRMS

        7500VRMS

        傳輸效率

        >90%

        匹配時間

        1~3s

        主電容

        雙真空電容

        可匹配阻抗實部范圍

        0~80Ω

        可匹配阻抗虛部范圍

        -j200~~+j200

        RF輸出連接器

        50 Ω, L29,銅帶輸出,可自定制

        控制接口

        自動手動控制窗口

        冷卻方式

        風冷

        風冷

        風冷+水冷

        供電電壓

        單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

        重量

        7.5KG

        8KG

        尺寸

        430mmDx220mmWx130mmH)或可定制


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